衍射光栅简介 | 岛津中国-爱游戏app手机版官网

全息光栅(hg:holographic grating)是利用两束激光干涉的全息曝光法制作的光栅。因此,由周期误差引起的杂光极少,特别是凹面全息衍射光栅(凹面hg),本身具有像差校正功能的优点。

岛津公司与理化学研究所进行了多年的共同研究,通过离子束蚀刻法,成功进行了在此之前被认为不可能实现的全息光栅的闪耀加工。由此,在全球首次确立了与机械刻线衍射光栅(ruled grating (有规则评级))同等衍射效率下,杂光较少的闪耀全息衍射光栅(bhg:blazed holographic grating)的制造技术 (图1) 。这种独创性衍射光栅制造技术荣获了大河内纪念技术奖。

另外,为了进一步优化和校正各种衍射光栅使用波长范围内的像差问题,我们还建立了一种“非球面波曝光法”技术,该技术在全息曝光波前使用非球面波,因此,可设计和制作最佳匹配衍射光栅,为分光装置的特性选择提供更多可能。



图 1 闪耀全息光栅制造工序
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